10.3321/j.issn:0258-7025.2004.03.027
激光微细加工中微小曝光区域的计算机温度测量系统
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量.而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法.研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量.系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流,再经信号放大及模/数转换后输入计算机.结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值.系统的温度分辨率可达到0.2℃, 测量区域的最小直径可达到18 μm.同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位.
激光技术、温度测量、激光微细加工、半导体
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TG665
国家自然科学基金60277008;电子工业部电子科学研究院科研项目;四川省科技厅资助项目
2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
363-366
