10.3321/j.issn:0258-7025.2004.03.024
复合光源实时微振动干涉测量仪
提出了一种新的实时微振动激光干涉测量仪.通过采用复合光源和反馈系统,有效地消除了激光二极管-正弦相位调制(LD-SPM)干涉仪中由电流调制所带来的测量误差和外界干扰所带来的影响,实现了物体微振动的纳米精度实时测量.
测绘仪器、实时测量、微振动、干涉仪
31
TH744.3(仪器、仪表)
国家自然科学基金69978024;上海市科技发展基金011461060,0114nm013
2004-04-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
350-353
