10.3321/j.issn:0258-7025.2002.07.013
双频激光远程直线度/同轴度测量系统
介绍了一种基于横向塞曼双频激光的直线度/同轴度测量系统,与纵向塞曼系统相比,舍去了1/4波片,减小了仪器尺寸,从原理上消除了由于1/4波片相位延迟不是严格90°造成的非线性误差;符合共路原则,对空气扰动有较强的抑制力;具有自适应性;信号处理采用比相技术,测量精度可以达到0.1°;测量元件可以暂时移出光路,挡光后数据能够自动恢复;8098单片机系统智能化稳定的频差在10 h内变化量小于0.5 kHz;系统稳定性为2 μm/h;示值线性相关系数优于0.9999;适于远程准直和同轴度测量.
直线度/同轴度测量、横向塞曼、双频、自适应、长距离测量
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TN249(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金59735120
2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
625-630
