10.3321/j.issn:0258-7025.2001.10.019
高反射硅镜弱吸收的研究
运用表面热透镜技术精确测量1315 nm高反射硅镜的弱吸收,并结合原子力显微镜所显示的薄膜表面情况判断引起吸收的原因,为工艺上减少吸收降低损耗提供测量保证.
表面热透镜技术、原子力显微镜、弱吸收
28
O484.4+1(固体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划
2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
937-940
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10.3321/j.issn:0258-7025.2001.10.019
表面热透镜技术、原子力显微镜、弱吸收
28
O484.4+1(固体物理学)
国家高技术研究发展计划863计划
2008-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
937-940
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号：2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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