10.11857/j.issn.1674-5124.2022050213
用于高精度光栅信号的零相移滤波器设计
为实现光栅的低成本、高精度测量,以栅距为 20 μm的光栅为研究对象,分别讨论光栅输出信号振幅、相位、直流漂移以及 3次谐波存在时,与理想输出信号对比所导致测量误差的情况,发现光栅信号 3次谐波、相位波动(非正交)引起的测量误差比较大.由此提出先采用零相移滤波器进行光栅信号处理,然后再细分测量的方法,并详细给出零相移滤波器的设计过程和参数选择方法.通过实测结果,比较测量精度为 0.1 μm的位移传感器的测量结果,光栅信号直接 128倍细分的测量结果,以及零相移滤波后的光栅信号进行 128倍细分的测量结果,其最大误差由0.0011 mm减少到0.0003 mm.在低成本的情况下,实现较高精度的光栅测量.
光栅信号、细分、零相移滤波、分辨率
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TB921(计量学)
安徽省重点实验室开放基金资助项目;国家重点实验室开放基金
2023-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
135-139,147
