10.11857/j.issn.1674-5124.2022060132
基于太赫兹波强度关系的热障涂层厚度测量方法
针对等离子喷涂工艺制备的热障涂层内部结构复杂、太赫兹波在热障涂层内传播衰减严重等问题,提出利用太赫兹波强度关系的热障涂层厚度测量方法,根据太赫兹波在热障涂层中的传播特性建立热障涂层太赫兹波传播模型,通过模型可以得到基于太赫兹检测信号的热障涂层厚度计算方法,然后根据菲涅尔定律和太赫兹检测信号回波能量关系建立折射率计算模型,提出使用热障涂层结构特征影响因子S修正利用太赫兹波强度关系的热障涂层厚度测量方法,并进行实验验证.研究结果表明,该方法所得结果与 130 nm分辨率共聚焦显微镜测量结果具有良好的一致性,平均绝对误差不大于17.29 μm,平均相对误差不高于3.42%,能够准确测量热障涂层厚度.
无损检测、太赫兹波、热障涂层、厚度测量
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TG115.28;TB9(金属学与热处理)
国家自然科学基金51975452
2023-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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