10.11857/j.issn.1674-5124.2021080216
热反射率校准系数与温度的相关性研究
为验证热反射热成像测温中温度对热反射率校准系数(CTR)的影响,采用一套热反射热成像测温装置在较宽的温度范围内对由硅衬底和金组成的被测件进行两种空气热对流条件下的测试.热反射热成像测温装置采用530 nm波长LED作为光源;在 20～90℃范围内以 10℃为间隔分别测量被测件表面金和硅的CTR;采用一个小风扇改变空气热对流.发现空气热对流较强时,CTR在高温段快速减小;空气热对流较弱时,CTR在高温段减小速度放缓,认为主要原因是较强的空气热对流会导致测温装置镜头受热而引起测温装置读数降低.试验结果证明,来自测温装置控温平台的较高温度会引起CTR测量结果偏低.
光热反射热成像、环境温度、热反射率校准系数、非线性
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TN322.8;TB9(半导体技术)
2023-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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