10.11857/j.issn.1674-5124.2020060090
四自由度测量系统光束漂移抑制方法与系统
在机床导轨几何误差测量中,空气折射率不均匀造成的光束漂移会降低激光测量系统的检测精度,测量距离越远,影响越大.基于此,该文提出一种波纹管和气泵均匀化空气折射率的方法,抑制光漂的发生.以四自由度激光测量系统为对象,首先分析光束漂移机理,确定影响空气折射率的主要因素为温度与压强,给出轴向最大允许温度与压强梯度;其次通过流体仿真选取合适的波纹管内径,最后搭建实验系统并在不同条件下进行实验测试.结果表明:利用该系统可使四自由度激光测量系统的光束稳定性提高50％以上.该方法的可行性和有效性得到了验证.
激光测量系统;光束漂移;波纹管;流体分析
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TH741(仪器、仪表)
国家重点研发计划2017YFF0204800
2021-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
109-113
