10.11857/j.issn.1674-5124.2020050048
一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法
针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法.该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补偿.通过对传感器进行实验标定和误差分析,并与常用的单一温升样本采集并进行数字补偿的方法进行对比,结果表明该方法能有效降低传感器因热迟滞效应引入的误差,提高传感器在全温区内标定点和非标定点的测试精度.同时,该方法校准参数少,计算量相对较小,对于硬件要求较低,达到在性能和成本之间的良好平衡,是一种实用性较强的在线补偿方法,具有较强的工程应用价值.
压阻式压力传感器、温度补偿、全温区、最小二乘法曲面拟合、热迟滞效应
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TP212;TH812(自动化技术及设备)
2021-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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