10.11857/j.issn.1674-5124.2019120029
微型热导检测器的研究进展
热导检测器是气相色谱仪的关键部件,主要用于气体成分和浓度的检测.与传统热导检测器相比较,微型热导检测器(μTCD)具有质量轻、体积小、灵敏度高等优点,能够集成到便携式气相色谱仪中,符合当前气相色谱仪微型化的发展趋势.该文系统概括μTCD的研究理论,从优化μTCD性能的角度,详细比较4种典型的μTCD的结构及其制备方法,并且基于μTCD热导池的封装技术,对其发展趋势进行展望.分析结果表明,当μTCD的热导池热丝支撑梁采用Si/SiNx复合结构时,输出信号可靠,检测灵敏度高.另外,与静电键合技术相比较,新型低温封装技术能够在室温条件下进行,更有利于检测到稳定的输出信号.
微型热导检测器、热导池、灵敏度、综述
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TH833
国家自然科学基金项目;四川省科技重大专项
2020-09-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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