10.11857/j.issn.1674-5124.2018120010
光谱共焦技术精密几何量测量台研制
光谱共焦位移传感器能够实现对透明和非透明材质的几何量测量,该文设计一套基于光谱共焦技术的精密几何量测量系统,将测量轮廓数据转换为图像,基于图像处理技术实现对几何量测量点的准确定位.采用改进的最小二乘法对轮廓数据进行预处理,有效提高系统几何量测量结果的动态重复性,同时系统测量软件直观友好地提供手动轮廓外形编辑和测量工具.实验结果表明:系统能够对透明物体的几何量进行精确测量,自动测量陶瓷标准块厚度的动态重复性不超过1μm.
光谱共焦技术、几何量测量、特征定位、最小二乘法
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TP23(自动化技术及设备)
国家重点研发计划资助项目2016YFD0400301
2019-12-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
79-83,89