10.11857/j.issn.1674-5124.2018120102
用于水下金属探测成像的压电式微机械超声波换能器
为满足目前对水下金属、蛙人等检测的应用需要,设计一种用于水下金属探测成像的压电式微机械超声换能器.在该结构中,在顶部电极和下电级之间插入AlN层,用于发射和接收超声.当测试距离达到10 m以上就可以满足实际应用需求,而该换能器经过实验得出最远的测试距离为12.8 m,且在12.8 m处测试值与理论值误差仅为0.67 cm,完全可以达到实际检测需要.在一个标准大气压下,利用微系统激光分析仪MSA400对该传感器进行膜位移测量,其测量值为0.28μm,与理论结果误差为1％.并且详细介绍该传感器的工艺实现过程.利用该传感器实现二维水下超声成像,证明水下存在金属矩形物体.该实验有利于水下超声成像系统的建立.
PMUT、C-V测试、超声成像、远距离
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O426.9(声学)
国家自然科学基金项目61525108
2019-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
84-88
