10.11857/j.issn.1674-5124.2018070099
利用图像拼接实现微结构的大视场测量
为实现基于图像的飞秒激光烧蚀硅晶片光斑阵列的完整测量,对采集的多幅光斑阵列图像拼接,得到完整的飞秒激光烧蚀光斑阵列图像.首先,对飞秒激光烧蚀光斑图像进行增强处理,对光斑进行方形拟合提取中心点,获取每两个中心点间的像素值,运用线纹对微视觉测量系统标定,获得像素尺寸与几何尺寸之间的比例系数,根据比例系数对像素尺寸与几何尺寸进行换算,得到对光斑阵列的视觉测量值;最后,用拼接后的光斑阵列进行图像测量,得到测量尺寸与实际尺寸间的误差平均值为3.00％.经实验验证,利用图像拼接对微视觉系统大视场微结构进行图像测量是可行的.
图像拼接、方形拟合、图像测量、微结构
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TN247(光电子技术、激光技术)
华北理工大学科学研究基金资助项目Z201703
2019-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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