10.11857/j.issn.1674-5124.2018020036
双光学灵敏杠杆法内径尺寸测量原理的研究
针对高效便捷精确测量内径尺寸的问题,该文提出双光杠杆法测量内径尺寸原理,采用两块反射镜形成双光学灵敏杠杆的方法,通过CCD相机采集移动的衍射光斑图像,实现将测头的移动转换为CCD相机上光斑的移动,从而测得内径尺寸.结合反射定律,通过解析几何的办法建立双光学灵敏杠杆法测量内径尺寸的数学模型,并计算两反射镜小角度旋转的21×21种组合情况下内径尺寸的计算结果.根据所建立模型计算设计测头A、测头B分辨力为0.1μm,可较好地满足微米级的测量需求.该原理性研究为双光杆法内径尺寸测量装置的研制提供理论基础.
双光学灵敏杠杆、内径尺寸检测、小孔衍射、亚像素法
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TH-3;TH7
国家自然科学基金项目51775529
2019-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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16-21
