10.11857/j.issn.1674-5124.2018100090
FBAR板上测试技术综述
随着对薄膜体声波谐振器(FBAR)器件性能要求的增高,FBAR器件参数的精确测试变得十分关键,该文从测试夹具结构以及对测试夹具的去嵌入校准这两个FBAR参数测试精度要素考虑,综述FBAR板上测试技术的研究现状,讨论测试夹具结构设计过程中的寄生效应、阻抗匹配以及夹结构设计等问题,并分析去嵌入校准的原理、误差模型以及各校准方法的优缺点.通过降低寄生效应、优化阻抗匹配、改善校准方法、优化误差模型可提高FBAR板上测试的准确性,并以此给出一套板上测试夹具设计及测试流程.
FBAR、测试夹具、校准、S参数
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TN06;TM934.72(一般性问题)
国家自然科学基金61574131;四川省教育厅资助科研项目17ZA0402;西南科技大学博士研究基金15zx7156
2019-05-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
11-15,29
