10.11857/j.issn.1674-5124.2017.01.015
基于白光LED的光谱共焦位移传感器
为实现光谱共焦位移传感器的小型化、低功耗和高精度，在设计过程中选择体积小、耗电量小的白光LED作为传感器的光源，并使用光纤耦合器代替复杂的分光棱镜式光学系统结构。色散镜头采用消色差透镜与非球面透镜组合的方式，在使用较少透镜数量的情况下达到较好的像差校正能力。同时结合光强归一化等数据处理方法，消除白光LED光源光谱光强分布不均匀等因素对测量精度造成的影响，得到准确、稳定的峰值波长与位置间的对应关系。通过双频激光干涉仪对系统进行标定和测量，实验结果表明使用435～655 nm波段，系统测量范围可以达1.7 mm，平均测量精度1.8μm，满足一定的测量需求。
位移传感器、光谱共焦、色散镜头、光纤耦合器
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V21;TD1
2017-03-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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