基于机器视觉与等倾干涉术的平面度测量装置
为实现平晶平面度的快速测量,运用机器视觉技术对等倾干涉仪进行改造.计算机对CCD采集的干涉图进行实时处理,再利用所有像素样本点(约4000个)的最小二乘法同时拟合出多条干涉环直径并计算标准干涉环直径Do.对平晶表面不同的检定点,测量软件均能根据其实测Do值计算平面度.改造后的干涉仪不但显著提高了工作效率,且大大降低了劳动强度.
平晶、CCD、等倾干涉仪、最小二乘拟合、标准干涉环
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TH741.3;TH821(仪器、仪表)
国家质检总局科技项目2005QK73
2008-07-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
16-17,47
