10.3969/j.issn.1674-5124.2007.06.010
毫瓦级超声功率传递标准的研制
针对各类毫瓦级超声功率计的量值溯源问题,选用压电陶瓷材料,根据其压电效应原理,设计为厚度伸缩振动模式,采用能陷技术及真空镀膜等技术工艺,制作了一系列1 MHz、3MHz、5MHz的园片形单元超声换能器,并研制与之配套的阻抗匹配器,与功率信号源等,组成一套毫瓦级超声功率传递标准.该套标准经济实用、性能可靠稳定,重复性好,有效地解决了毫瓦级超声功率计的量值溯源问题.
压电陶瓷、超声换能器、传递标准、超声功率、溯源
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TB973(计量学)
科技部科研院所社会公益研究专项基金2004DIAIJ003
2008-03-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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