10.3969/j.issn.1674-5124.2006.05.012
激光自混频干涉法测量表面粗糙度的理论分析
设计了一种半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度的实验,对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析,推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式,讨论了影响测量信号的因素.实验结果表明,随着加工表面粗糙度的降低,反射光的强度逐渐增加,被测物体表面的反射率越高,越有利于测量.
干涉效应、半导体激光、自混频干涉、粗糙度、测量、反射率
32
TN248(光电子技术、激光技术)
2006-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共3页
45-46,135
