10.3969/j.issn.1674-5124.2005.04.006
用于直径测量的激光差动扫描方法
提出一种新的直径测量方法及系统,系统中扫描转镜的两个相关反射面相对旋转中心呈非对称设计,形成差动扫描.系统工作时,该对反射面扫描获得两组角度计数脉冲,根据特定差动测量公式计算出工件直径.理论分析和实验研究表明,最大测量误差可以限制在±10μm.
激光扫描、直径、测量、差动、专利
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TN249(光电子技术、激光技术)
2005-09-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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