10.3969/j.issn.1674-5124.2003.01.014
微机械测量子系统
本文主要介绍一种微机械测量子系统,它与控制、测试和带有闭合数字控制回路结构的测量仪器相关.它尤其适用于光滑位移量的测量.例如:象由压力和温度引起的物体变形量,或者在监测物体气密性时,探测由物体的几何尺寸变化引起的电荷量.它也可用来监测集成模块的防水性.如果再给子系统补充一些额外的触觉传感设备,它就可应用于机器人系统中.
微机械式变换器、微触点测量
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TM93
2003-10-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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