10.3969/j.issn.1672-058X.2014.07.017
极紫外多层膜反射率的模拟计算与分析
使用matlab软件编程计算了钼/硅多层膜的反射率随膜层数、波长及入射角等的变化.结果显示,在极紫外波段,存在中心波长为13.3 nm和17.2 nm两个峰值反射波长,反射率分别达到73.1％和53.7％;两中心波长的最佳镀膜层数分别为80和60;两中心波长在入射角小于8°的近正入射情形均存在一个反射率曲线平坦段.
极紫外多层膜、理想界面、反射率、模拟计算
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O484.4(固体物理学)
2014-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
85-89,96
