抑制相干噪声的照明系统仿真与误差分析
提出通过离轴照明系统抑制相干噪声的方案,设计了一种具有抑制相干噪声能力的照明系统.通过Zemax的非序列模式对照明系统进行仿真,得到了厚度为 90 μm的离轴环形光斑,验证了此照明系统对相干噪声的抑制能力.将其作为 19.05 mm(3/4英寸)Fizeau干涉仪的光源,设置对比实验,光源波长为 632 nm,设置圆形噪点尺寸为 120 μm～500 μm和尺寸为 100 μm×350 μm的划痕.对设计的照明系统进行误差分析,优化照明系统成像质量,调整干涉系统参数,最终在照明光环宽度为42 μm、干涉腔长为15 mm情况下,干涉条纹的对比度提升至97.60％.
干涉测量、相干噪声、照明仿真、条纹对比度
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TN202(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金62127901
2023-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
533-538
