电子敏感CMOS部件除气方法
电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)作为真空-固体混合型微光器件,其性能和工作寿命一定程度上取决于器件内部真空度保持情况.分析造成EBAPS器件真空度下降的原因,推断出真空度恶化的严重后果,提出提高和保持EBAPS器件内部真空度的手段,通过搭建超高真空除气系统对EBAPS器件中核心部件电子敏感CMOS部件的放气特性进行了研究,并根据研究结果得到最佳的除气工艺参数,为EBAPS数字化微光器件的制备提供了技术基础.
电子轰击有源像素传感器、电子敏感CMOS、放气特性、除气工艺
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TN366(半导体技术)
国家自然科学基金U2141239
2022-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
1181-1186
