微通道板输入电极对开口面积比的影响及改进研究
微通道板作为一种关键的电子倍增器件,广泛应用于诸多领域.分析了NiCr膜层作为微通道板的输入端电极时,对微通道板开口面积比的影响,建立了理论模型,计算了膜层厚度、镀膜深度等参数对开口面积比的影响.开展了2种减小开口面积比损失的镀膜研究:一是进行工艺调整,减弱合金蒸发的分馏效应,降低电极膜层的电阻率,开口面积比损失量降低约2％;二是改变镀膜方式,使用Ni、Cr金属单质镀制叠层薄膜,在镀膜过程中调控镍、铬的比例,将输入端电极中镍比例升高,同样可以降低电极膜层的电阻率,在满足面电阻要求的前提下,可减薄输入端膜层至86 nm,与300 nm厚度的常规镍铬合金膜层相比,MCP输入端的开口面积比损失量降低3％～4％,MCP增益提升6％.
微通道板、开口面积比、输入电极、叠层薄膜电极
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TN233(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金12003010
2022-11-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
1158-1164
