10.19611/j.cnki.cn11-2919/tg.2023.03.004
M5211-6-UM型立式硼扩散设备研制
M5211-6-UM型立式硼扩散炉用于晶体硅太阳能电池片硼扩散工艺,具有全自动化、高产能、低能耗、维护便捷等特点.本文介绍了该型号设备的结构组成及性能,给出了能耗和工艺结果,结果表明该设备各方面性能已达到国内领先水平,具备产业化条件.
硼扩散、石英舟、方阻均匀性
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TM914.41
2023-08-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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