10.19611/j.cnki.cn11-2919/tg.2022.02.005
基于BCl3源的低压硼扩散设备及工艺研究
以BCl3为掺杂源的低压硼扩散炉是N型TOPCon太阳能电池重要制造设备之一,其工艺过程具有气体输送控制难、工艺气体腐蚀性强、反应洁净度要求高、尾气高温等特点.针对这些特点本文通过优化气路系统、增加气路伴热,保证BCl3精准稳定;同时采用全石英炉门,增加背水冷法兰和风冷法兰,有效杜绝了金属离子污染,提高了太阳能电池的少子寿命及效率;另一方面通过全包裹水冷设计、双滤芯过滤以及水洗功能,滤芯更换周期及真空泵使用寿命提高了 1倍.此外本文也研究了不同插片方式下扩散方阻及不良率,相比顺气流竖直插片方式,水平插片方式同一小舟内上中下硅片的扩散方阻极差大,制成电池后黑边不良比例低.
硼扩散、BCl3、低压、方阻、黑边
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TN305.3(半导体技术)
湖南省创新型省份建设专项项目2019TP2048
2022-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
18-22,27
