10.3969/j.issn.1003-8884.2020.01.001
多晶硅还原炉装备发展展望
基于改良西门子多晶硅生产工艺技术的关键设备众多,因此研究各类关键设备的特性是一件非常有意义的事情;还原炉作为最终产品的关键生产设备,其性能的好坏对多晶硅的生产有着举足轻重的作用,还原炉的大小、结构形式、材质等直接决定了多晶硅产品的品质、能耗等关键生产参数,因此本文就还原炉的特性进行分析,展望未来多晶硅还原炉的发展,旨在帮助各生产企业根据自身的发展需求选择合适的还原炉炉型.
还原炉、节能降耗、多晶硅、装备
TQ127.2
2020-06-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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1-3,29
