用于晶圆键合的对准标记定位算法
对准标记精确定位是晶圆键合精度实现的关键,为了提高对准标记定位算法的精度、实时性及适应性,提出了一种基于边缘检测拟合定位的高精度对准标记定位算法.该方法结合分级金字塔模型对对准标记进行逐级定位,获得像素级的目标区域粗定位结果,根据目标区域粗定位结果,结合Canny检测器与改进的高斯拟合法,对对准标记的亚像素轮廓进行拟合,在此基础上结合中心对称的对准标记特征,利用改进后的最小二乘法快速拟合对准标记的中心位置,实现对准标记的精确定位.通过实验验证了该方法的有效性,实验结果表明,提出的对准标记定位算法在快速定位目标区域的同时,可实现约0.06 μm的重复定位误差,满足了晶圆键合对准的精度、实时性和适应性的需求.
晶圆键合对准、对准标记定位、高精度、亚像素
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TP391.4;TH822(计算技术、计算机技术)
国家重点实验室基金SKLT2020D23
2022-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共10页
220-229
