基于相位偏折术的大像差透射波前检测
针对各种复杂光学与工业元件的表面面形等加工误差检测需求,提出了基于相位偏折术的透射波前检测方法.为获得由透射元件加工误差引入的波像差,建立相位偏折检测系统并对模型化系统进行光线追迹,由实际测量结果相对光线追迹结果的变化计算得到待测元件波像差.并用计算机辅助的结构误差校正方法,对系统结构误差进行校正.为验证检测方法的可行性和大动态范围,分别进行Zygo干涉仪比对实验与工业透射元件检测实验,并对工业透射元件检测中的全反射问题及影响进行分析.结果 表明,所提出的检测方法不仅能达到与干涉检测方法相当的检测精度,还能实现大动态测量范围,为各种光学及工业透射元件提供了一种可行有效的波前检测方法.
透射波前检测、相位偏折术、光线追迹、大动态范围
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TH741(仪器、仪表)
浙江省自然科学基金LY17E050014;国家自然科学基金51775528;中国博士后科学基金资助项目188766;广西光电信息处理重点实验室培育基地GD18205;质检公益性行业科研专项201410009;浙江省“仪器科学与技术”重中之重学科开放基金JL150508
2019-05-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共7页
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