10.3969/j.issn.0254-3087.2017.09.004
基于随机方法的AFM探针位置最优估算研究
由于受到驱动器PZT(PbZrTiO3)非线性、系统温漂与其他不确定因素的影响,原子力显微镜(AFM)探针在任务空间的位置存在不确定性.这严重影响了AFM探针观测与操作的效率,如何减小探针位置的不确定性,实现AFM探针的精确定位成为亟待解决的问题.针对此问题,提出用概率分布的方式描述探针位置的不确定性,通过建立探针运动模型,结合基于局部扫描的观测模型,采用Kalman滤波对探针位置进行最优估算.针对算法的实现,设计了模型参数标定方案.通过仿真和实验的结果验证了算法的有效性与可行性,实现了探针在任务空间中的精确定位,提高了纳米操作效率.
探针精确定位、运动模型、局部扫描、Kalman滤波、参数标定
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TP24;TH89(自动化技术及设备)
中国国家自然科学青年基金61305125;沈阳建筑大学学科内容教育工程XKHY2-66;学校自然科学基金2014068,2017028;国家博士后基金2013M530955,2014T70265
2018-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共10页
2120-2129
