10.3321/j.issn:0254-3087.2006.09.034
磁悬浮式纳米级微动工作台的理论分析与建模研究
磁悬浮式微动工作台由于运动平台和驱动机构采用非接触式的磁悬浮驱动技术而易于实现大范围纳米级精度的微运动.本文构建了一种新型的磁悬浮微动工作台,从理论上对磁悬浮式微动工作台的运动机理进行了详尽分析,建立了磁悬浮式微运动的电磁驱动模型,用Matlab对磁悬浮式微动工作台的运动控制进行了仿真研究,结果表明,设计的磁悬浮式微动工作台能达到纳米级的微运动.本文的研究成果为磁悬浮式微动工作台的设计及其控制提供了理论基础.
磁悬浮、微动工作台、理论分析、仿真研究、Halbach磁阵列
27
TH133.3
浙江省自然科学基金R503197;国家自然科学基金50275138
2006-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
1125-1128
