10.3321/j.issn:0254-3087.2002.01.015
一种实现CCD亚像元位移分辨率的新方法
基于CCD子窗口内四个像限的光积分量随目标位置而变化的机理,可从摄取的CCD数字图像提取目标的位移信号,本文提出一种新的方法可实现目标位移探测的亚像元分辨率.理论及实验结果表明,对于直径为1μm的球体而言,在±400nm的范围内,光积分量的变化同球体的位移关系具有良好的线性度.物方和像方位移分辨率分别可达1nm和1/30个像元宽度,可满足光镊系统位移测量要求.
CCD、亚像元、光、镊
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TN2(光电子技术、激光技术)
国家自然科学基金1989380
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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