10.3969/j.issn.1003-8868.2010.02.015
基于MEMS的微泵研究现状与进展
微泵是微机电系统(MEMS)中重要的执行器件,在多个学科中发挥着重要作用.根据微泵的驱动方式,综述了近年国内外出现的各种机械式和非机械式微泵的原理和相应的性能,并简要总结了微泵选型需要注意的主要指标,对其应用前景进行了展望.
微泵、微电子机械系统、机械式、非机械式
31
TH777(仪器、仪表)
2010-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
46-49
10.3969/j.issn.1003-8868.2010.02.015
微泵、微电子机械系统、机械式、非机械式
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TH777(仪器、仪表)
2010-04-28(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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