10.3969/j.issn.1001-2400.2007.02.014
硅微陀螺仪的建模
提出了硅微陀螺仪的集总建模方法.该方法将硅微陀螺仪划分为多个相互关联的基本单元,各基本单元的行为特征被集总到单元的节点端口上,并表征为矩阵形式.将根据物体相对运动理论,从基本单元的解析方程出发,给出了建立硅微陀螺仪基本单元模型的一般方法,并以Verilog-A为模型编码语言实现了硅微陀螺仪参数化的基本单元模型.在Cadence Spectre上进行了仿真验证,频域仿真结果与ANSYS计算结果相差在1%以内;时域仿真结果表明利用该系统级模型能够快速进行复杂机电一体仿真.
微电子机械系统集总建模、微电子机械系统系统仿真、硅微陀螺仪
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TN402;TH702(微电子学、集成电路（IC）)
国家基础科研项目K0301060112;航天支撑技术基金41701020501
2007-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
227-232
