10.3969/j.issn.1001-2400.2006.03.021
椭圆缺陷轮廓的成品率估计
现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而70%的实际缺陷轮廓接近于椭圆.提出了椭圆缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比更具有一般性,而圆模型轮廓的成品率模型仅为新模型的特例.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确.
真实缺陷、椭圆缺陷模型、关键面积、成品率模型
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TN43(微电子学、集成电路（IC）)
国家高技术研究发展计划863计划2003AA1Z1630
2006-06-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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