10.3969/j.issn.1001-2400.2005.04.004
基于Fuzzy-PID的MOCVD温度控制方法
针对MOCVD系统反应室温度的特性和对温度控制的要求,提出了一种基于Fuzzy-PID的温度控制方案,即利用模糊控制求得归一化的PID参数变化系数,从而实现PID参数的在线自调整.与Smith预估控制相比,Fuzzy-PID具有更好的控制效果,较好地解决了系统中存在的"非线性"、"大滞后"、"物理模型不精确"等问题,满足MOCVD控制系统温度控制要求.
MOCVD、温度控制、模糊PID控制
32
TP273(自动化技术及设备)
陕西省自然科学基金2002F13;陕西省科技攻关项目2004K05-G1
2005-09-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
504-507,517
