10.3969/j.issn.1001-2400.2004.01.004
非正态分布工艺参数工序能力指数分析
半导体器件生产中,有些工艺参数为非正态分布,如果采用常规方法计算其工序能力指数,评价生产工艺水平,将可能导致错误的结论.因此提出了一种非正态分布工艺参数计算方法,并开发了相应的软件,可以分析计算非正态分布工艺参数的工序能力指数和工艺不合格品率.
工序能力指数、成品率、正态分布、非正态分布
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TN405(微电子学、集成电路（IC）)
国家重点实验室基金514330501
2004-03-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共4页
13-15,46
