10.3969/j.issn.1001-2400.2003.01.010
压电致动式圆片驱动装置结构分析与设计
根据压电致动的工作原理,建立了圆片微驱动装置的压电复合层薄板的机电耦合力学模型:应用弹性薄板的小挠度弯曲理论,推导出圆形压电复合层薄板的弹性曲面微分方程,提出由逆压电效应引起的平面应变可以等效为作用在压电复合层薄板上的横向荷载的设计方法;指出等效横向荷载取决于平行板电容器的边缘电场分布.推导了压电复合层薄板中性面的表达式.在求电场的超越方程数值解的基础上,建立了微驱动装置的有限元结构模型,并对某微泵驱动装置进行了计算仿真,得到令人满意的结果.
微电子机械系统、微执行器、压电陶瓷、压电效应、微泵
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TH703.8;TP271;TH38(仪器、仪表)
陕西省自然科学基金99C05
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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