10.3969/j.issn.1001-2400.2001.03.007
InSb红外探测器衬底应力的模拟与分析
根据线性弹性理论集中力的假定,计算了矩形膜淀积在InSb衬底上的三维应力分布;讨论了钝化膜对InSb衬底应力的影响;提出了提高InSb平面二极管可靠性的措施.
应力、钝化膜、锑化铟、可靠性
28
TN305(半导体技术)
国家重点实验室基金98JS03.6DZ0108
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
301-305
10.3969/j.issn.1001-2400.2001.03.007
应力、钝化膜、锑化铟、可靠性
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TN305(半导体技术)
国家重点实验室基金98JS03.6DZ0108
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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