10.3969/j.issn.1001-2400.2001.01.001
数字微反射镜装置的分析与设计
简述了数字微镜装置的微机械工作原理和数字光信号处理技术，建立了基于微米技术制作的数字微镜的机电动力学模型，并给出了微机械碰撞中考虑纳米尺寸效应的实用建模方法．数值仿真分析了某微反射镜单元的运动状态和过程，分析结果与该微镜实测结果吻合较好．此外，还设计了一种新型微镜阵列，提出了相应的分析设计方法．
微电子机械系统、数字微反射镜、数字光信号处理、投影仪
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TH11;TN4;TP334
陕西省自然科学基金99X05
2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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