10.13911/j.cnki.1004-3365.220326
表面掺杂浓度对低压TVS的影响研究
瞬态电压抑制器(TVS)是一种二极管形式的接口保护器件,其中低压TVS通常由低阻外延层和其表面的高浓度掺杂区构成.在芯片制造工艺过程中,圆片的表面掺杂浓度对器件特性有很大的影响,非正常的杂质扩散变化极易导致器件参数异常.文章就某低压TVS制造过程中出现的参数异常进行了排查,确认异常原因为表面掺杂浓度过高,并就表面掺杂浓度与器件参数的变化趋势进行了分析,并通过实验得到验证.
瞬态电压抑制器、表面浓度、掺杂
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TN306;TN312(半导体技术)
2023-11-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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