10.13911/j.cnki.1004-3365.220425
高性能激光诱导石墨烯压力传感器的研究
为了保证在低成本、易制备的前提下提高激光诱导石墨烯压力传感器的性能,设计了一种石墨烯压力传感器的放大结构.表征了激光诱导石墨烯压力传感器的表面结构,分析了表面多孔泡沫结构对压阻效应的影响,采用COMSOL软件对传感器放大结构的受力情况进行仿真分析,得到在外界压力下石墨烯层的受力情况.选用3D打印方法制备树脂材料放大结构基底,在低成本的同时兼顾了轻质、高精度、高机械强度等性能.测试结果表明,压强在5~20 kPa范围内时,该放大结构的灵敏度较无放大结构提高了约43%.
激光诱导石墨烯、石墨烯、压阻效应、放大结构、压力传感器
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TN389(半导体技术)
国家自然科学基金;中国博士后科学基金资助项目;江苏省博士后基金资助项目
2023-08-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
310-314