10.13911/j.cnki.1004-3365.220126
柔性压力传感器成型技术及制备工艺研究进展
应用日益广泛的可穿戴设备要求其中的传感器件可拉伸、可弯曲,因此柔性传感器已受到人们的重视.文章对柔性压力传感器的微结构、材料、制备工艺等方面进行了综述,重点总结了现阶段柔性传感器所采用的各种结构,比较了天然微拮构、仿生表面微结构、多孔结构、多级结构、多层结构柔性压力传感器的重要性能.介绍了 目前常用的柔性基底材料和导电活性材料,对比了光刻技术、3D打印等制造工艺的优缺点,对柔性压力传感器的未来研究方向进行了展望.文章对相关柔性器件的研究具有较高的理论价值和工程参考意义.
柔性压力传感器、微结构、柔性基底材料、3D打印
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TN389;TP212(半导体技术)
江苏省研究生科研与实践创新计划项目;国家自然科学基金;国家自然科学基金;南京邮电大学射频集成与微组装技术国家地方联合工程实验室开放课题
2023-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共9页
295-303
