10.13911/j.cnki.1004-3365.210386
LTCC滤波器微分层的超声检测及有效性验证研究
针对超声扫描用于LTCC滤波器微分层检测的可行性开展研究.首先通过理论计算证实,在参考频率下滤波器内部微分层缺陷对超声波有极高的反射率,对实际检测过程中的分辨力要求进行了说明.其次对滤波器开展超声实测,给出具体可行的检测程序,依据检测结果对缺陷信息进行了判别.然后制取样品剖面,根据获取的缺陷信息定位缺陷.最后,利用FIB刻蚀技术对检测结果进行验证,证实了滤波器微分层超声检测的可行性.
低温共烧陶瓷、滤波器、微分层缺陷、FIB、超声检测
52
TN407(微电子学、集成电路（IC）)
2022-10-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
695-699
