10.13911/j.cnki.1004-3365.220092
具有表面超结的横向绝缘栅双极晶体管研究
提出了 一种基于体硅的表面超结横向绝缘栅双极晶体管(SSJ LIGBT).分析了工艺参数注入剂量和注入能量对器件性能的影响,基于耐压需求的考虑,设计并优化了 SSJ LIGBT器件及其终端.对该SSJ LIGBT进行了击穿特性、输出特性和转移特性的测试.测试结果表明,该SSJ LIGBT的耐压达到693 V,比导通电阻仅为6.45Ω·mm2.
横向绝缘栅双极型晶体管、表面超结、终端设计、耐压、比导通电阻
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TN322.8(半导体技术)
国家自然科学基金;广东省自然科学基金资助项目
2022-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
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