10.13911/j.cnki.1004-3365.210409
悬浮型石墨烯压力传感阵列的设计与研究
传统的硅压阻式压力传感器存在易受温度影响、断裂韧性较差以及传感节点有限等缺点,因此设计了一种悬浮型阵列结构的石墨烯压力传感器.首先分析了该传感器的结构与原理,然后研究了应变对石墨烯能带结构的影响.最后,建立了顶板-支柱结构的压强放大模型和挠度放大模型.理论与仿真结果表明,压强的放大系数与半径比满足负指数关系,随着支柱底面半径的不断减小,放大系数趋于定值;在集中压力模型中,最大挠度与半径比近似满足线性关系,最大挠度与压强呈三分之一幂次关系.
悬浮型石墨烯、压力传感阵列、能带结构、放大模型
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TN389(半导体技术)
国家自然科学基金;中国博士后科学基金资助项目;江苏省博士后基金资助项目;南京邮电大学国自基金孵化资助项目;南京邮电大学国自基金孵化资助项目
2022-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
449-453
