10.13911/j.cnki.1004-3365.210367
一种基于RF MEMS开关的四端口电子校准件设计
针对射频多端口器件微波测试需求,基于SOLT校准原理设计了一种工作频率在DC～12 GHz范围内、基于RF MEMS开关的四端口电子校准件.数值仿真结果表明,在短路状态下,器件的回波损耗小于0.15 dB;在直通状态下,器件的插入损耗小于0.5 dB,端口之间的隔离度大于20 dB;在开路状态下,器件的回波损耗小于0.3 dB,端口之间的隔离度大于25 dB;同时采用微表面加工工艺,利用磁控溅射工艺对负载电阻进行了制备,其测试结果约为50Ω,符合设计要求.设计的基于RF MEMS开关的四端口校准件,具有射频性能好、体积小、易于集成等优点,能够满足X波段微波多端口器件在片测试的应用需求.
RF MEMS、插入损耗、回波损耗、隔离度、微波校准
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TN389(半导体技术)
国家自然科学基金;装备发展部新品项目;装备发展部新品项目;中北大学青年学术带头人项目
2022-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共5页
437-441
