10.13911/j.cnki.1004-3365.210414
微系统结构均匀化模型参数的确定方法研究
在对3D封装微系统进行力学仿真建模时,硅通孔(TSV)和微焊点等结构的多尺度效应明显,需要划分大量网格,通过合理的等效处理可以降低网格数量,提高仿真效率.常规的方形柱等效使得结构失去原有微观形貌,仿真误差增加.为此,针对实际微观形貌提出了一种等效均匀化模型力学参数的确定方法.基于弹性力学方法,推导了圆柱形貌特征的TSV硅基板层力学参数的等效计算公式.对鼓球形貌特征的微焊点/下填料层均匀化模型提出了分层思想的力学参数确定方法.与现有方法相比,该方法考虑了微系统特征结构的真实形貌特征,计算效率更高,计算结果的一致性更好.
尺寸效应、均匀化方法、有限元分析、微系统
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TN305.94(半导体技术)
2022-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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