10.13911/j.cnki.1004-3365.200485
一种雪花型MEMS单刀五掷开关的研究与设计
针对MEMS单刀多掷(SPMT)开关插入损耗及隔离度较差的问题,设计了一种基于雪花型功分器的单刀五掷(SP5T)MEMS开关,通过雪花型功分器实现信号的均衡分配和低损耗传输.通过设计H形上电极结构,有效减小开关弱接触,增强开关接触稳定性,实现信号的高隔离.采用HFSS仿真软件,对开关的插入损耗、隔离、驱动电压和应力分布进行了设计,并结合COMSOL软件对开关进行了机械性能分析.结果表明,在1～20 GHz频段内,五个端口插入损耗在0.2 dB@20 GHz以下,隔离度在23 dB@20 GHz以上,驱动电压为24 V.这些指标均优于常规SPMT开关.该SP5T MEMS开关可应用于多任务、多通道可调谐器件中,在无线通信、微波测试系统中具有应用价值.
单刀五掷开关;MEMS;雪花型功分器;高隔离;低插损
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TN389(半导体技术)
双百工艺攻关;新品项目;预研项目
2021-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
共6页
533-538
